风楼阁全国信息最新版介绍_风楼阁全国信息2024最新版_v风楼阁信息平台

热点关注：  
放射性同位素 粒子加速器 辐照杀菌 无损检测 高新核材 辐射成像 放射诊疗 辐射育种 食品辐照保鲜 废水辐照 X射线 中广核技 中国同辐

离子刀新闻

“离子刀”大尺寸晶圆异质集成技术取得进展

近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员蔡艳、欧欣合作，利用上海微技术工业研究院标准180纳米硅光工艺在八英寸绝缘体上硅（SOI）上制备了硅光芯片，再基于“离子刀”异质集成技术，通过直接键合的方式实现铌酸锂（LN）与SOI晶圆的异质集成，并通过干法刻蚀技术实现了硅光芯片波导与铌酸锂电光调制器的单片式混合集成，制备出通信波段马赫-曾德尔干涉仪型硅基铌酸锂高速电光调制器。 2024-04-01